Napařování a měření tenkých vrstev v UV oblasti

Monika Nováková

Bachelor's thesis

Deposition and measurement of thin films in UV region

Abstract:

Vzhledem ke snaze dosáhnout větší hustoty prvků na integrační desce se stále zvyšují nároky na zařízení vyrábějící, resp. kontrolující integrační obvody pomocí laserové litografie. Ke zvýšení rozlišovacích schopnosti se využívají lasery se stále menší pracovní vlnovou délkou ležící v UV či DUV (hluboká UV z anglického jazyka deep, proto zkratka DUV) oblasti. Zařízení schopná pracovat v UV oblasti však vyžadují speciální optiku. V této práci se proto zaměřuji na výrobu a kontrolu optických kusů vhodných pro ultrafialovou oblast. Tato práce je zaměřena na výrobu a kontrolu optických kusů vhodných pro ultrafialovou oblast. První část práce obsahuje teorii týkající se výroby a kontroly optických tenkých vrstev, dále jsou zde uvedeny veličiny popisující spektrální vlastnosti optických tenkých vrstev, různé typy skel, tenkých vrstev a materiálů vhodných pro výrobu tenkých vrstev. V další části práce je popsán princip výroby tenkých vrstev (napařování) a následné měření spektrálních parametrů vrstev pomocí spektrometru doplněného měřením pomocí laseru. V závěrečné části je uveden podrobnější popis kontroly optických vlastností vybraného optického kusu i s výsledky měření

Abstract:

Because we want to get bigger volume density on the integrative desk, we need higher pretencion of machines, which created or controlled integrative perimetres by laser litografy. We use lasers with better abilities of distinction and smaller work wave lenght lying in UV or DUV area. Machines, which work in UV area, need a special optics. In my work Iconcetrate for the production and controll of optics areas, which we can use for ultra-violet area. This work is concetrated on production and control of optics applied in ultraviolet region. First part of the work includes theory regarding to production and control of optical thin films, further there are presented quantities describing spectral characteristics of optical thin films, variety of glass, thin films and materials suitable for production of thin films. In the following part of work the process of production of thin films is described including measurement of spectral parameters of films with the spectrometer and the laser. In the last chapter there is presented more detailed description of control of optical characteristics of an optical piece with the attached measured results

Keywords

Elektromagnetické záření, ultrafialové záření, tenké vrstvy, spektrum, vakuová aparatura, spektrometrie, laser

Keywords

Electromagnetic radiation, ultra-violet, thin films, spectrum colour, vacuum deposition system, spectrometers, laser

Language used: Czech

Date on which the thesis was submitted / produced: 30. 4. 2010

Thesis defence

• Date of defence: 16. 6. 2010
• Supervisor: Jiří Kyvalský
• Reader: Jaromír Křepelka

Univerzita Palackého

Přírodovědecká fakulta

Bachelor programme / field:
Fyzika / Optika a optoelektronika