Zpět na vyhledávání

Martin JAROŠ

Bachelor's thesis

Reaktivní magnetronové naprašování vrstev CrCuO

Reactive magnetron sputtering CrCuO films
Abstract:
Předmětem této práce jsou měření vlastností tenkých vrstev materiálu na bázi Cr-Cu-O, které byly připraveny pomocí pulzní reaktivní magnetronové depozice s využitím duálního magnetronu. Byl zkoumán vliv parciálního tlaku kyslíku na vlastnosti deponovaných vrstev. Jednotlivé vrstvy byly připraveny při konstantní výkonové hustotě v pulzu 30 W×cm-2, teplotě substrátu T = 500°C, s opakovací frekvencí fr …more
Abstract:
The subject of this paper are measurements of the properties of thin Cr-Cu-O films, which were prepared by pulsed reactive magnetron sputtering with dual magnetron system. The influence of oxygen partial pressure on the properties of deposited Cr-Cu-O films was investigated. The films were prepared at a constant target power density in pulse 30 W×cm-2, substrate temperature T = 500 ° C, repetition …more
 

Keywords

reaktivní magnetronové naprašování CrCuO tenké vrstvy
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 10. 8. 2012
Accessible from:: 31. 12. 2999

Thesis defence

  • Date of defence: 29. 8. 2012
  • Supervisor: Prof. Ing. Jindřich Musil, DrSc.

Citation record

Cite this text
The right form of listing the thesis as a source quoted

JAROŠ, Martin. Reaktivní magnetronové naprašování vrstev CrCuO. Plzeň, 2012. bakalářská práce (Bc.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd

Full text of thesis

Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných věd
https://portal.zcu.cz/stag?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=50079 Reference to the local database file of the institution