Příprava tenkých feroelektrických vrstev PZT metodou IBS – Ing. Jiří Hlubuček
Ing. Jiří Hlubuček
Master's thesis
Příprava tenkých feroelektrických vrstev PZT metodou IBS
Production of thin ferroelectric PZT layers by IBS method
Abstract:
Tato práce přináší ucelený přehled problematiky depozice tenkých vrstev PZT z keramického terče se složením Pb(Zr0,52Ti0,48)O3, metodou IBS a IBAD. Je zaměřena na získání požadovaných vlastností PZT vhodnou kombinací depozičních a post-depozičních parametrů, přičemž je kladen důraz na limity iontových zdrojů pro získání krystalické struktury perovskitového typu. Charakterizace naprášených vrstev se …moreAbstract:
This work is devoted to the deposition of PZT thin layers from multicomponent ceramic target, with the composition of Pb(Zr0,52Ti0,48)O3, by IBS and IBAD method. It is focused on achieving the desired properties of PZT by varying the deposition and post-deposition parameters, while an emphasis is put on limiting factors of ion sources for achieving the perovskite type crystalline structure. Characterization …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 16. 5. 2016
Thesis defence
- Date of defence: 14. 6. 2016
- Supervisor: Ing. David Vápenka
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
HLUBUČEK, Jiří. \textit{Příprava tenkých feroelektrických vrstev PZT metodou IBS}. Online. Master's thesis. Liberec: Technical University of Liberec, Faculty of Mechatronics, Informatics and Interdisciplinary Studies. 2016. Available from: https://theses.cz/id/giuw59/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
Hlubuček, Jiří. Příprava tenkých feroelektrických vrstev PZT metodou IBS. Liberec, 2016. diplomová práce (Ing.). Technická univerzita v Liberci. Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Technická univerzita v Liberci, Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studiíVázaný výtisk práce je dostupný v knihovne: UKN
Technical University of Liberec
Faculty of Mechatronics, Informatics and Interdisciplinary StudiesMaster programme / field:
Nanotechnology / Nanomaterials
Theses on a related topic
Name
Posted by
Uploaded/Created
Rights