Příprava tenkých feroelektrických vrstev PZT metodou IBS – Ing. Jiří Hlubuček
Ing. Jiří Hlubuček
Master's thesis
Příprava tenkých feroelektrických vrstev PZT metodou IBS
Production of thin ferroelectric PZT layers by IBS method
Anotácia:
Tato práce přináší ucelený přehled problematiky depozice tenkých vrstev PZT z keramického terče se složením Pb(Zr0,52Ti0,48)O3, metodou IBS a IBAD. Je zaměřena na získání požadovaných vlastností PZT vhodnou kombinací depozičních a post-depozičních parametrů, přičemž je kladen důraz na limity iontových zdrojů pro získání krystalické struktury perovskitového typu. Charakterizace naprášených vrstev se …viacAbstract:
This work is devoted to the deposition of PZT thin layers from multicomponent ceramic target, with the composition of Pb(Zr0,52Ti0,48)O3, by IBS and IBAD method. It is focused on achieving the desired properties of PZT by varying the deposition and post-deposition parameters, while an emphasis is put on limiting factors of ion sources for achieving the perovskite type crystalline structure. Characterization …viac
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 16. 5. 2016
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 14. 6. 2016
- Vedúci: Ing. David Vápenka
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
HLUBUČEK, Jiří. \textit{Příprava tenkých feroelektrických vrstev PZT metodou IBS}. Online. Diplomová práca. Liberec: Technická univerzita v Liberci, Faculty of Mechatronics, Informatics and Interdisciplinary Studies. 2016. Dostupné z: https://theses.cz/id/giuw59/.
Jak správně citovat práci
Hlubuček, Jiří. Příprava tenkých feroelektrických vrstev PZT metodou IBS. Liberec, 2016. diplomová práce (Ing.). Technická univerzita v Liberci. Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Technická univerzita v Liberci, Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studiíVázaný výtisk práce je dostupný v knihovne: UKN
Technical University of Liberec
Faculty of Mechatronics, Informatics and Interdisciplinary StudiesMaster programme / odbor:
Nanotechnology / Nanomaterials
Práce na příbuzné téma
Názov
Vložil
Vložené
Práva