Mgr. Matej Fekete, Ph.D.

Doctoral thesis

Space and time resolved study of reactive HIPIMS process

Space and time resolved study of reactive HIPIMS process
Anotácia:
Tato práce se zabývá magnetronovým naprašováním buzeným pulzy velkého výkonu, což je depoziční technika vytvářející vrstvy špičkové kvality. V oblasti růstu tenkých vrstev se velká pozornost věnuje částicím tvořícím vrstvu, ty jsou representovány rozprášenými částicemi. Kvantitativní určení koncentrace rozprášených částic v základním stavu je obtížné, protože částice v základním stavu nemohou být přímo …viac
Abstract:
This thesis deals with the high power impulse magnetron sputtering which is a deposition technique producing coatings of superb quality. In the thin film growth, a significant interest is paid to the film-forming particles represented by the sputtered species. Quantitative determination of the sputtered species ground state number densities is challenging as the particles in the ground state cannot …viac
 
 
Jazyk práce: English
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 12. 2. 2020

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 19. 6. 2020
  • Vedúci: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
  • Oponent: Mgr. Martin Čada, Ph.D., Ing. Tomáš Kozák, Ph.D.

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta