Pulzní magnetronová depozice multifunkčních tenkovrstvých materiálů ze systému HfB(Si)C(N) – Ing. Pavel MAREŠ
Ing. Pavel MAREŠ
Doctoral thesis
Pulzní magnetronová depozice multifunkčních tenkovrstvých materiálů ze systému HfB(Si)C(N)
Pulsed magnetron sputtering of multifunctional HfB(Si)C(N) thin film materials
Anotácia:
Tato disertační práce se zabývá přípravou multikomponentních nanokrystalických tenkovrstvých materiálů, především ze systému HfB(Si)C(N), pomocí pulzního magnetronového naprašování. Práce je rozdělena do sedmi kapitol. První a druhá kapitola jsou věnovány úvodu a přehledu literatury se zaměřením na vysokoteplotní materiály a na tvrdé a elektricky vodivé materiály. Ve třetí kapitole jsou definovány …viacAbstract:
This Ph.D. thesis deals with synthesis of multicomponent nanocrystalline thinfilm materials, mainly from the HfB(Si)C(N) system, using pulsed magnetron sputtering. The thesis is divided into seven chapters. The first and second chapters are devoted to introduction and state of art of hard and electrically conductive hightemperature materials. In the third chapter, the four goals of the thesis are defined …viac
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 20. 4. 2016
Zverejniť od: 31. 12. 2999
Obhajoba závěrečné práce
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
MAREŠ, Pavel. \textit{Pulzní magnetronová depozice multifunkčních tenkovrstvých materiálů ze systému HfB(Si)C(N)}. Online. Dizertačná práca. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, Faculty of Applied Sciences. 2016. Dostupné z: https://theses.cz/id/h24yfu/.
Jak správně citovat práci
MAREŠ, Pavel. Pulzní magnetronová depozice multifunkčních tenkovrstvých materiálů ze systému HfB(Si)C(N). Plzeň, 2016. disertační práce (Ph.D.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesDoctoral programme / odbor:
Applied Sciences and Computer Engineering / Plasma Physics and Physics of Thin Films
Práce na příbuzné téma
-
Optická emisní spektroskopie ve vysokovýkonovém impulzním magnetronovém rozprašování multikomponentního terče
Veronika NĚMCOVÁ -
Vliv energie částic na vlastnosti vrstev Me-B-C-(N) připravených reaktivní magnetronovou depozicí
Veronika ŠÍMOVÁ -
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Příprava vrstevy typu Mo2BC pomocí pulzního magnetronového naprašování a jejich analýza
Stanislava Debnárová -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Počítačové modelování napouštění reaktivního plynu pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování oxidů kovů
Milada KREJČOVÁ -
Magnetronové naprašování senzoricky aktivních nanostruktur na bázi plazmonických materiálů
Alexej HORÁK -
Nízkoteplotní depozice vysoce funkčních termochromických povlaků na bázi VO2 použitím pulzního reaktivního magnetronového naprašování
David KOLENATÝ