Study of Dielectric Properties and Mechanisms of Electrical Conduction of Thin Dielectric Films Prepared by PECVD – Mgr. Jana Franclová, Ph.D.
Mgr. Jana Franclová, Ph.D.
Doctoral thesis
Study of Dielectric Properties and Mechanisms of Electrical Conduction of Thin Dielectric Films Prepared by PECVD
Study of Dielectric Properties and Mechanisms of Electrical Conduction of Thin Dielectric Films Prepared by PECVD
Anotácia:
Předložená disertační práce se zabývá mechanismy vodivosti tenkých dielektrických vrstev vytvořených plazmochemickou depozicí. Jako pracovní plyny byly při depozici použity hexamethzldisiloxan a kyslík. Meřené vrstvy, tenčí než 1mikrometr, byly v sendvičové struktuře mezi dvěmi hliněnými elektrodami. Elektrické i dielektrické vlastnosti těchto struktur byly měřeny jak při pokojové teplotě tak i při …viacAbstract:
In this thesis we discuss conduction mechanisms in thin dielectric films. We focused in thin films prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition using the mixture of hexamethyldisiloxane and oxygen gases. In this work we discussed conduction mechanisms in thin dielectric films, generally less than 1μm thick, sandwiched between plane metal electrodes. Structures were studied at room temperature …viac
Jazyk práce: English
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 12. 5. 2009
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/rhxdz/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 1. 7. 2009
- Vedúci: prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
- Oponent: prof. RNDr. Rudolf Hrach, DrSc., doc. Ing. Karel Liedermann, CSc.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
FRANCLOVÁ, Jana. \textit{Study of Dielectric Properties and Mechanisms of Electrical Conduction of Thin Dielectric Films Prepared by PECVD}. Online. Dizertačná práca. Brno: Masarykova univerzita, Faculty of Science. 2009. Dostupné z: https://theses.cz/id/h9armm/.
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceDoctoral programme / odbor:
Physics (4-years) / Plasma Physics
Práce na příbuzné téma
-
Deposition of functional thin films by plasma processes
Petr SEZEMSKÝ -
Biomimetic devices using artificial cell membranes constructed on nanodiamond thin films as a tool for monitoring of membrane processes.
Václav Petrák -
Development and study of hybrid PVD-PECVD process
Tereza Schmidtová -
Vývoj a studium pokročilých multivrstev a nanokompozitů připravených s použitím magnetronového naprašování a PECVD
Richard Václavik -
Studium depozice hydrofilních tenkých vrstev metodou PECVD za atmosférického tlaku
Michal Štipl -
Studium volné povrchové energie polymerních tenkých vrstev připravených metodou PECVD
Barbora Pavlů -
Vlastnosti tenkých uhlíkových vrstev připravovaných metodou PECVD
Jan Koutecký -
Vliv difúze na PECVD funkčních vrstev
Lenka Volfová