Příprava a studium křemíkových multivrstevnatých superstruktur a-Si:H/SiO2 pro oblast PV

Bc. Lukáš KOCOUREK

Diplomová práce

Preparation and study of silicon multilayer superstructures a-Si:H/SiO2 for the PV

Anotace:

Předkládaná diplomová práce "Příprava a studium křemíkových multivrstevnatých superstruktur a-Si:H/SiO2 pro PV" se zabývá technikami přípravy tenkých vrstev (PVD, CVD, PECVD), metodami jejich identifikace (optickou a strukturní analýzou vrstev) pomocí Ramanovy spektroskopie, FTIR, XRD, UV-Vis spektrofotometrie a spektroskopické elipsometrie. V praktické části je popsána příprava substrátů a multivrstevnatých vzorků, jejich žíhání a následná analýza (z výše zmíněných metod). K této činnosti bylo použito vybavení na pracovišti NTC ZČU v Plzni.

Abstract:

This diploma thesis "Preparation and study of silicon multilayer superstructures a-Si:H/SiO2 for PV" deals with the techniques of thin films (PVD, CVD, PECVD), methods of their identification (optical and structural analysis) using Raman spectroscopy, FTIR, XRD, UV-Vis spectrophotometry and spectroscopic ellipsometry. The practical part of this work describes the preparation of substrates and multilayered samples, subsequent their annealing and analysis (of the above methods). For this research, there were used facilities at NTC of University of West Bohemia in Pilsen.

Klíčová slova

Fotovoltaika, tenká vrstva, Si/SiO2, superstruktura, optické a strukturní vlastnosti, depozice, depoziční aparatura, polovodičová technika, FTIR, Ramanova spektroskopie, PECVD, PVD.

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 7. 5. 2014

Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 3. 6. 2014
• Vedoucí: Ing. Pavel Calta, Ph.D.

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI

Fakulta elektrotechnická

Magisterský studijní program / obor:
Elektrotechnika a informatika / Komerční elektrotechnika