Zpět na vyhledávání

Bc. Pavel MAREŠ

Diplomová práce

Pulzní magnetronová depozice vrstev Zr-B-C-(N) a jejich vlastnosti

Pulse magnetron deposition of Zr-B-C-(N) films and their properties
Anotace:
Práce se zabývá současnou problematikou v oblasti tenkých vrstev na bázi Zr a B4C. Dále pak přehledem metod vytváření a analýzy tenkých vrstev. Ve výsledkové části se hodnotí závislost mechanických a tribologických vlastností vrstev Zr-B-C-(N), naprášených pulsní magnetronovou depozicí, na teplotě substrátů, na zastoupení Zr v erozní zóně terče a na složení atmosféry.
Abstract:
This work deals with curret issue of thin films from Zr and B4C. Next there are described methods of creation and analysis of these films. In the result and discusion part of this work are analysed mechanical and tribological properties of thin films Zr-B-C-(N) created by pulse magnetron sputtering depending on substrate temperature, Zr fraction in the target errosion area and on N2 fraction in the …více
 

Klíčová slova

Zr-B-C-(N) depozice tenké vrstvy naprašování pulsní magnetronová
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 17. 6. 2011
Identifikátor: 43475

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedoucí: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.

Citační záznam

Citovat tuto práci
Jak správně citovat práci

MAREŠ, Pavel. Pulzní magnetronová depozice vrstev Zr-B-C-(N) a jejich vlastnosti. Plzeň, 2011. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd

Plný text práce

Právo: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti až od 17. 06. 2011

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných věd
https://portal.zcu.cz/stag?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=43475 Odkaz na soubor do lokálního úložiště instituce