Pulzní magnetronová depozice vrstev Zr-B-C-(N) a jejich vlastnosti – Bc. Pavel MAREŠ
Bc. Pavel MAREŠ
Master's thesis
Pulzní magnetronová depozice vrstev Zr-B-C-(N) a jejich vlastnosti
Pulse magnetron deposition of Zr-B-C-(N) films and their properties
Anotácia:
Práce se zabývá současnou problematikou v oblasti tenkých vrstev na bázi Zr a B4C. Dále pak přehledem metod vytváření a analýzy tenkých vrstev. Ve výsledkové části se hodnotí závislost mechanických a tribologických vlastností vrstev Zr-B-C-(N), naprášených pulsní magnetronovou depozicí, na teplotě substrátů, na zastoupení Zr v erozní zóně terče a na složení atmosféry.Abstract:
This work deals with curret issue of thin films from Zr and B4C. Next there are described methods of creation and analysis of these films. In the result and discusion part of this work are analysed mechanical and tribological properties of thin films Zr-B-C-(N) created by pulse magnetron sputtering depending on substrate temperature, Zr fraction in the target errosion area and on N2 fraction in the …viac
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 17. 6. 2011
Identifikátor:
43475
Obhajoba závěrečné práce
- Vedúci: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.
Citační záznam
Jak správně citovat práci
MAREŠ, Pavel. Pulzní magnetronová depozice vrstev Zr-B-C-(N) a jejich vlastnosti. Plzeň, 2011. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti až od 17. 06. 2011
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědUniversity of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesMaster programme / odbor:
Applied Sciences and Computer Engineering / Applied Physics and Physical Engineering
Práce na příbuzné téma
-
Vysokoteplotní vrstvy Si-B-C-N a multifunkční vrstvy (Zr)-B-C-(N) připravené pulzním magnetronovým naprašováním
Petr STEIDL -
Multikomponentní keramické vrstvy připravené pulzním magnetronovým naprašováním
Tomáš KUBÁSEK -
Vliv parametrů depozice na výsledné vlastnosti kovových komponent vytvořených pomocí metody přímé laserové depozice
Michal BRÁZDA -
Pulzní laserová depozice tenkých vrstev feromagnetických oxidů a zkoumání jejich magnetických vlastností
Jan Klimek -
Studium depozice a efektů nanočástic v modelovém organismu Mus musculus
Jan Vysloužil -
Vývoj technologie plazmochemické depozice z plynné fáze pro zlepšení užitných vlastností polymerních tenkých vrstev
Roman Přibyl -
Depozice tenkých hydrofilních vrstev v povrchovém bariérovém výboji
Radek Horňák -
Pulsní laserová depozice tenkých vrstev antiferomagnetického LaFeO3 a studium jejich strukturních vlastností
Vojtěch Kliner