Pulzní magnetronová depozice vrstev Zr-B-C-(N) a jejich vlastnosti

Bc. Pavel MAREŠ

Diplomová práce

Pulse magnetron deposition of Zr-B-C-(N) films and their properties

Anotace:

Práce se zabývá současnou problematikou v oblasti tenkých vrstev na bázi Zr a B4C. Dále pak přehledem metod vytváření a analýzy tenkých vrstev. Ve výsledkové části se hodnotí závislost mechanických a tribologických vlastností vrstev Zr-B-C-(N), naprášených pulsní magnetronovou depozicí, na teplotě substrátů, na zastoupení Zr v erozní zóně terče a na složení atmosféry.

Abstract:

This work deals with curret issue of thin films from Zr and B4C. Next there are described methods of creation and analysis of these films. In the result and discusion part of this work are analysed mechanical and tribological properties of thin films Zr-B-C-(N) created by pulse magnetron sputtering depending on substrate temperature, Zr fraction in the target errosion area and on N2 fraction in the gas mixture.

Klíčová slova

Zr-B-C-(N), depozice, tenké vrstvy, naprašování, pulsní magnetronová

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 17. 6. 2011

Identifikátor: 43475

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI

Fakulta aplikovaných věd

Magisterský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství