Bc. Michal Truhlář

Diplomová práce

Příprava polovodičových součástek křemíkovou technologií

Preparation of semiconductor devices by silicon technology
Anotace:
V předkládané práci se věnuji technologiím a procesům, používaným v Laboratoři polovodičů – čistých prostorách pro křemíkovou technologii a mikroelektroniku na Ústavu fyziky kondenzovaných látek (ÚFKL) Masarykovy univerzity a dále pak strukturám a součástkám, které byly vyrobeny v této laboratoři. Osobně jsem připravil několik křemíkových desek se třemi fotolitografickými kroky. V návaznosti na výrobu …více
Abstract:
In the presented work I devote myself to study of technology and processes used in the Laboratory of Semiconductors – Clean room for silicon device technology and microelectronics at the Department of Condensed Matter Physics (ÚFKL) at Masaryk University. I focus on structures and components that are developed in this laboratory. Using a process with three photolitography steps I have processed a number …více
 
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 12. 1. 2011

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 13. 6. 2011
  • Vedoucí: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Magisterský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika kondenzovaných látek

Práce na příbuzné téma