Zpět na vyhledávání

Bc. Lívia Macková

Bachelor's thesis

Modifikace povrchů metodou plazmové imerzní iontové implantace

Surface modification using plasma ion immersion implantation
Abstract:
This bachelor's thesis is a pilot research of plasma immersion ion implantation method. The thesis summarizes the results of experiments conducted at the Department of Physical Electronics at Masaryk University in Brno. Plasma immersion ion implantation uses ions accelerated by negative high-voltage pulses to bombard the surface of a material. A standard application of plasma-immersion ion implantation …more
Abstract:
Táto bakalárska práca zhrňuje výsledky pilotných experimentov pri zavádzaní metódy plazmovej imerznej iónovej implantácie na pracovisku ÚFE. Táto metóda využíva ióny urýchlené zápornými vysokonapäťovými pulzmi k bombardovaniu povrchu materiálu. Štandardná aplikácia plazmovej imerznej iónovej implantácie je plazmová nitridácia, a preto bolo študované zabudovanie urýchlených dusíkových iónov do niekoľkých …more
 

Keywords

Ion implantation Plasma immersion ion implantation Plasma nitridation Surface analysis Iónová implantácia Plazmová imerzná iónová implantácia Plazmová nitridácia Analýza materiálov
 
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 21. 5. 2015
Identifier: https://is.muni.cz/th/ymzrt/

Thesis defence

  • Date of defence: 23. 6. 2015
  • Supervisor: prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution

Masaryk University

Faculty of Science

Bachelor programme / field:
Applied Physics / Nanotechnology - Applied Physics

Theses on a related topic

List of theses with an identical keyword.