Zpět na vyhledávání

Bc. Lívia Macková

Bakalářská práce

Modifikace povrchů metodou plazmové imerzní iontové implantace

Surface modification using plasma ion immersion implantation
Abstract:
This bachelor's thesis is a pilot research of plasma immersion ion implantation method. The thesis summarizes the results of experiments conducted at the Department of Physical Electronics at Masaryk University in Brno. Plasma immersion ion implantation uses ions accelerated by negative high-voltage pulses to bombard the surface of a material. A standard application of plasma-immersion ion implantation …více
Abstract:
Táto bakalárska práca zhrňuje výsledky pilotných experimentov pri zavádzaní metódy plazmovej imerznej iónovej implantácie na pracovisku ÚFE. Táto metóda využíva ióny urýchlené zápornými vysokonapäťovými pulzmi k bombardovaniu povrchu materiálu. Štandardná aplikácia plazmovej imerznej iónovej implantácie je plazmová nitridácia, a preto bolo študované zabudovanie urýchlených dusíkových iónov do niekoľkých …více
 

Klíčová slova

Ion implantation Plasma immersion ion implantation Plasma nitridation Surface analysis Iónová implantácia Plazmová imerzná iónová implantácia Plazmová nitridácia Analýza materiálov
 
Jazyk práce: slovenština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 21. 5. 2015
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/ymzrt/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 23. 6. 2015
  • Vedoucí: prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Aplikovaná fyzika / Nanotechnologie - aplikovaná fyzika

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.