Stochastic Coulomb interactions in a multi-beam scanning electron microscope – Mgr. Jan Stopka, Ph.D.
Mgr. Jan Stopka, Ph.D.
Doctoral thesis
Stochastic Coulomb interactions in a multi-beam scanning electron microscope
Stochastic Coulomb interactions in a multi-beam scanning electron microscope
Abstract:
Vícesvazková rastrovací electronová mikroskopie je nová technologie výrazně zrychlující práci s elektronovým mikroskopem. Studie optických vlastností takového systému obvykle zahrnuje výpočet velikosti stopy, což určuje dosažitelné rozlišení. Protože tento mikroskop je určený pro rychlý sběr velkého množství signálu, běžně má takový mikroskop vysoký celkový proud elektronového svazku. Důsledkem je …moreAbstract:
A multi-beam scanning electron microscope is an emerging technology for increasing the throughput of electron microscopy. A study of the optical properties of such a system usually includes calculation of the probe size which limits the achievable resolution. As this microscope is intended for high throughput applications, it is generally operated with a high total beam current. Therefore stochastic …more
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 12. 12. 2022
Identifier:
https://is.muni.cz/th/n8nna/
Thesis defence
- Date of defence: 21. 3. 2023
- Supervisor: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D.
- Reader: Ali Mohammadi-Gheidari, Ing. Jakub Zlámal, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
STOPKA, Jan. \textit{Stochastic Coulomb interactions in a multi-beam scanning electron microscope}. Online. Doctoral theses, Dissertations. Brno: Masaryk University, Faculty of Science. 2022. Available from: https://theses.cz/id/ipj9z9/.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceDoctoral programme / field:
Physics / Wave and Particle Optics