Návrh geometrických rozměrů a experimentální ověření čerpacích charakteristik iontové getrovací vývěvy

Mgr. Jiří Růžička

Bakalářská práce

Study of characteristics of vacuum sputter ion pump

Anotace:

Předložená práce se zabývá čerpacími charakteristikami iontových getrovacích vývěv diodového typu. Nejdříve je uvedena základní problematika nízkých tlaků včetně vysvětlení principu měřících zařízení použitých při experimentu. Následně je vysvětlen princip fungování iontových getrovacích vývěv a je uveden empirický vztah pro čerpací rychlost. V experimentální části jsou navrženy rozměry dvou vývěv tak, aby mohly být použity v elektronovém mikroskopu LVEM5 firmy Delong Instruments. Experimentálně jsou určeny kalibrační křivky vývěv a metodou otvoru jsou naměřeny čerpací rychlosti pro vzduch pro různá napětí mezi elektrodami a různé indukce magnetického pole.

Abstract:

In the presented work pumping characteristics of diode sputter-ion pumps are studied. First, the basics of low pressures are introduced, including working principles of the gauges used in the experiment. Second, the working principle of sputter-ion pumps is described and an empirical formula for pumping speed is presented. In the experimental part the dimensions of two pumps are projected, so the pumps can be used in the LVEM5 electron microscope by Delong Instruments. Calibration curves of the pumps are determined by experiment, and pumping speeds are measured by the orifice method for air and for various discharge voltages and magnetic fields.

Klíčová slova

iontová getrovací vývěva, čerpací rychlost, geometrické rozměry, sputter-ion pump, pumping speed, dimensions

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 25. 5. 2009

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 30. 6. 2009
• Vedoucí: Mgr. Petr Štěpán

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika