Mgr. Jiří Růžička

Bachelor's thesis

Návrh geometrických rozměrů a experimentální ověření čerpacích charakteristik iontové getrovací vývěvy

Study of characteristics of vacuum sputter ion pump
Abstract:
Předložená práce se zabývá čerpacími charakteristikami iontových getrovacích vývěv diodového typu. Nejdříve je uvedena základní problematika nízkých tlaků včetně vysvětlení principu měřících zařízení použitých při experimentu. Následně je vysvětlen princip fungování iontových getrovacích vývěv a je uveden empirický vztah pro čerpací rychlost. V experimentální části jsou navrženy rozměry dvou vývěv …more
Abstract:
In the presented work pumping characteristics of diode sputter-ion pumps are studied. First, the basics of low pressures are introduced, including working principles of the gauges used in the experiment. Second, the working principle of sputter-ion pumps is described and an empirical formula for pumping speed is presented. In the experimental part the dimensions of two pumps are projected, so the pumps …more
 

Keywords

iontová getrovací vývěva čerpací rychlost geometrické rozměry sputter-ion pump pumping speed dimensions
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 25. 5. 2009
Identifier: https://is.muni.cz/th/vhy6g/

Thesis defence

  • Date of defence: 30. 6. 2009
  • Supervisor: Mgr. Petr Štěpán

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution

Masaryk University

Faculty of Science

Bachelor programme / field:
Physics / Physics

Theses on a related topic

List of theses with an identical keyword.
  • No theses on a related topic available.