Zpět na vyhledávání

Bc. Kristína Tomanková

Bachelor's thesis

Globální modely plazmatu v reaktivním magnetronovém naprašování v argonu, dusíku a acetylenu

Global plasma models for reactive magnetron sputtering in argon, nitrogen and acetylene
Abstract:
Cílem této práce je vyvinout globální model ke studiu reaktivního mag-netronového naprašování v argonovo-acetylenovém plasmatu. Model je založen na existujícím argonovém modelu s přidáním acetylenové kinetiky. Za pomoci existujícího dusíkového globálního modelu je porovnán vliv přidávaní acetylenu do komory s vlivem přidávaní dusíku. Následně je zkoumán vliv různých parametrů na plasmový výboj pomocí …more
Abstract:
The aim of this thesis is to develop a global model to study reactive magnetron sputtering in argon/acetylene plasma. The model is based on an existing argon model with addition of acetylene kinetics. The effect of adding acetylene to the chamber is compared to the effect of adding nitrogen using an existing nitrogen global model. Numerous parametric studies are then performed using the acetylene global …more
 

Keywords

magnetronové naprašování reaktivní magnetronové naprašování argon acetylen plasmový výboj globální model parametrická studie magnetron sputtering reactive magnetron sputtering acetylene plasma discharge global model parametric study
 
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 17. 6. 2021
Identifier: https://is.muni.cz/th/vrmud/

Thesis defence

  • Date of defence: 13. 7. 2021
  • Supervisor: Mgr. Adam Obrusník, Ph.D.
  • Reader: PhD. Pedro Arsénio Nunes Aleixo Viegas

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution