Globální modely plazmatu v reaktivním magnetronovém naprašování v argonu, dusíku a acetylenu – Bc. Kristína Tomanková
Bc. Kristína Tomanková
Bachelor's thesis
Globální modely plazmatu v reaktivním magnetronovém naprašování v argonu, dusíku a acetylenu
Global plasma models for reactive magnetron sputtering in argon, nitrogen and acetylene
Anotácia:
Cílem této práce je vyvinout globální model ke studiu reaktivního mag-netronového naprašování v argonovo-acetylenovém plasmatu. Model je založen na existujícím argonovém modelu s přidáním acetylenové kinetiky. Za pomoci existujícího dusíkového globálního modelu je porovnán vliv přidávaní acetylenu do komory s vlivem přidávaní dusíku. Následně je zkoumán vliv různých parametrů na plasmový výboj pomocí …viacAbstract:
The aim of this thesis is to develop a global model to study reactive magnetron sputtering in argon/acetylene plasma. The model is based on an existing argon model with addition of acetylene kinetics. The effect of adding acetylene to the chamber is compared to the effect of adding nitrogen using an existing nitrogen global model. Numerous parametric studies are then performed using the acetylene global …viac
Jazyk práce: English
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 17. 6. 2021
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/vrmud/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 13. 7. 2021
- Vedúci: Mgr. Adam Obrusník, Ph.D.
- Oponent: PhD. Pedro Arsénio Nunes Aleixo Viegas
Citační záznam
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / odbor:
Physics / Physics
Práce na příbuzné téma
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev
Michal ŠULA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi
Sergei ZENKIN -
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností
Roman SPLÍTEK -
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev CrCuO
Martin JAROŠ