Bc. Kristína Tomanková

Bachelor's thesis

Globální modely plazmatu v reaktivním magnetronovém naprašování v argonu, dusíku a acetylenu

Global plasma models for reactive magnetron sputtering in argon, nitrogen and acetylene
Anotácia:
Cílem této práce je vyvinout globální model ke studiu reaktivního mag-netronového naprašování v argonovo-acetylenovém plasmatu. Model je založen na existujícím argonovém modelu s přidáním acetylenové kinetiky. Za pomoci existujícího dusíkového globálního modelu je porovnán vliv přidávaní acetylenu do komory s vlivem přidávaní dusíku. Následně je zkoumán vliv různých parametrů na plasmový výboj pomocí …viac
Abstract:
The aim of this thesis is to develop a global model to study reactive magnetron sputtering in argon/acetylene plasma. The model is based on an existing argon model with addition of acetylene kinetics. The effect of adding acetylene to the chamber is compared to the effect of adding nitrogen using an existing nitrogen global model. Numerous parametric studies are then performed using the acetylene global …viac
 
 
Jazyk práce: English
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 17. 6. 2021

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 13. 7. 2021
  • Vedúci: Mgr. Adam Obrusník, Ph.D.
  • Oponent: PhD. Pedro Arsénio Nunes Aleixo Viegas

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta