Mueller matrix ellipsometry of special samples

Přemysl Ciompa

Bakalářská práce

Anotace:

Tato bakalářská práce se zabývá použitím Elipsometrie Muellerových matic k charakterizaci speciálních vzorků. To zahrnuje měření na elipsometru RC2 Woollam a následné zpracování naměřených dat v softwaru CompleteEase. V této práci jsou zkoumány 3 typy vzorků a to systém tenkých vrstev Au/Cr na skleněném substrátu, vzorky Sn vrstev o tloušťkách 10, 20, 50 a 110 nm na skleněném substrátu a anizotropický BBO krystal. K charakterizaci vzorků bylo potřeba zvládnutí speciálních technik Elipsometrie Muellerových matic, jako je měření odrazem skrze substrát, analýza simultánním fitem dat z několika různých měření a měření a modelování anizotropických vzorků. Výsledkem práce je vytvoření optických modelů popisujících chování vzorků a popis dielektrických funkcí Au a Sn.

Abstract:

The bachelor thesis deals with use of Mueller matrix Ellipsometry for characterization of special samples. It involves experimental measurement using RC2 Woollam ellipsometer and subsequental data analysis using CompleteEase software. Three types of samples are analyzed in this thesis, Au/Cr multilayer on a glass substrate, Sn thing layers 10, 20, 50 and 110 nm thick on a glass substrate and nonlinear BBO crystal. To characterize measured samples special techniques of Mueller matrix Ellipsometry had to be understood, like measurement using glass-side illumination, simultaneous t of several dierent data sets and measurement and modeling of anisotropic samples. As a result of this thesis, the optical models characterizing samples` behaviour were constructed and the dielectric functions of Au and Sn were described.

Klíčová slova

elipsometrie, elipsometrie Muellerových matic, BBO, Sn vrstvy, Au vrstvy, odraz skrze substrát, CompleteEase, beta baryum borate, tenké vrstvy

Keywords

ellipsometry, Mueller matrix ellipsometry, BBO, Sn layers, Au layers, glass-side reflection, CompleteEase, beta baryum borate, thin layers

Jazyk práce: angličtina

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 16. 5. 2016

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 8. 6. 2016
• Vedoucí: Kamil Postava
• Oponent: Martin Foldyna

VŠB - Technická univerzita Ostrava

Univerzitní studijní programy

Bakalářský studijní program / obor:
Nanotechnologie / Nanotechnologie