Multikomponentní povlaky připravené pulzním reaktivním mangetronovým naprašováním – Michal PROCHÁZKA
Michal PROCHÁZKA
Master's thesis
Multikomponentní povlaky připravené pulzním reaktivním mangetronovým naprašováním
Multicomponent coatings prepared by pulsed reactive magnetron sputtering
Abstract:
Vrstvy na bázi HfB2 jsou známé vysokou tvrdostí, nízkou rezistivitou a oxidační odolností. Díky těmto vlastnostem jsou užitečné v mnoha průmyslových odvětvích. Tato práce je zaměřena na oxidační odolnost vrstev Hf-Si-B-C-N a na její změnu vlivem přidávání dusíku do pracovního plynu. V teoretické části je popsán princip ochrany před oxidací a metody vytváření a analýzy tenkých vrstev. Výsledková část …moreAbstract:
HfB2-based thin layers are well known for its high hardness, low electrical resistivity and oxidation resistance. Due to these properties the films are useful in many industrial applications. This study is focused on oxidation resistance of Hf-Si-B-C-N thin films and its change caused by addition of nitrogen into the working gas. The principle of protection against oxidation and methods of forming …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 31. 5. 2015
Accessible from:: 31. 5. 2015
Thesis defence
- Date of defence: 19. 6. 2015
- Supervisor: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
PROCHÁZKA, Michal. \textit{Multikomponentní povlaky připravené pulzním reaktivním mangetronovým naprašováním}. Online. Master's thesis. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2015. Available from: https://theses.cz/id/mfje70/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
PROCHÁZKA, Michal. Multikomponentní povlaky připravené pulzním reaktivním mangetronovým naprašováním. Plzeň, 2015. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti od 31.5.2015
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou od 31. 5. 2015 dostupné: světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesMaster programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Applied Physics and Physical Engineering
Theses on a related topic
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Počítačové modelování napouštění reaktivního plynu pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování oxidů kovů
Milada KREJČOVÁ -
Pulzní magnetronové naprašování multikomponentních vrstev a měření jejich elektrické vodivosti a mechanických vlastností
Michaela KOTRLOVÁ -
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev obsahujících měď a stanovení jejich fyzikálních a mechanických vlastností
Jakub BLAŽEK -
Zdroj pro pulzní magnetronové naprašování
Jakub Schulz -
Nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů
Milada KREJČOVÁ -
Magnetronové naprašování senzoricky aktivních nanostruktur na bázi plazmonických materiálů
Alexej HORÁK