Multikomponentní povlaky připravené pulzním reaktivním mangetronovým naprašováním

Michal PROCHÁZKA

Master's thesis

Multicomponent coatings prepared by pulsed reactive magnetron sputtering

Anotácia:

Vrstvy na bázi HfB2 jsou známé vysokou tvrdostí, nízkou rezistivitou a oxidační odolností. Díky těmto vlastnostem jsou užitečné v mnoha průmyslových odvětvích. Tato práce je zaměřena na oxidační odolnost vrstev Hf-Si-B-C-N a na její změnu vlivem přidávání dusíku do pracovního plynu. V teoretické části je popsán princip ochrany před oxidací a metody vytváření a analýzy tenkých vrstev. Výsledková část pak popisuje depoziční parametry, mechanické, elektrické, optické a tribologické vlastnosti a oxidační odolnost vrstev Hf Si B C N.

Abstract:

HfB2-based thin layers are well known for its high hardness, low electrical resistivity and oxidation resistance. Due to these properties the films are useful in many industrial applications. This study is focused on oxidation resistance of Hf-Si-B-C-N thin films and its change caused by addition of nitrogen into the working gas. The principle of protection against oxidation and methods of forming and analysis of thin films are described in the theoretical part. The final section describes the deposition parameters, mechanical, electrical, optical and tribological properties and oxidation resistance of Hf-Si-B-C-N thin films.

Kľúčové slová

vrstvy Hf-Si-B-C-N, pulzní magnetronové naprašování, tvrdost, oxidační odolnost

Jazyk práce: Czech

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 31. 5. 2015

Zverejniť od: 31. 5. 2015

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 19. 6. 2015
• Vedúci: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.

University of West Bohemia

Faculty of Applied Sciences

Master programme / odbor:
Applied Sciences and Computer Engineering / Applied Physics and Physical Engineering