Příprava a charakterizace diamantu podobných tenkých vrstev – Mgr. Radek Žemlička, Ph.D.
Mgr. Radek Žemlička, Ph.D.
Bakalářská práce
Příprava a charakterizace diamantu podobných tenkých vrstev
Deposition and characterisation of diamon-like carbon thin films
Anotace:
V předložené práci studujeme vyšší harmonické frekvence plazmových oscilací doutnavého výboje užitého při depozicích v plazmatu z plynné fáze a leptání v plazmatu. Hlavní motivací je získání nové diagnostické metody, kterou lze průběh těchto procesů sledovat.Abstract:
In the present work we study higher harmonic frequencies of plasma oscillation of glow discharge used for plasma enhanced chemical vapor deposition and plasma etching. The main motivation is bringing a new real-time diagnostic method for these kinds of plasma processing
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 20. 5. 2010
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/h623j/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 29. 6. 2010
- Vedoucí: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
Citační záznam
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika
Práce na příbuzné téma
-
Organosilicon coatings based on trimethylsilyl acetate monomer prepared using plasma of RF capacitively coupled glow discharge
Štěpánka Kelarová -
Vyšší harmonické frekvence v reaktivním a prašném plazmatu
Jakub Fišák -
Vyšší harmonické frekvence kapacitně vázaných výbojů
Maroš Tkáčik -
Optická diagnostika parametrů plazmatu
Dana Skácelová -
Vývoj průmyslové technologie přípravy diamantu podobných vrstev
Michael Kroker -
Studium termální stability diamantu-podobných tenkých vrstev modifikovaných křemíkem, kyslíkem a dusíkem
Tomáš Gardelka -
Příprava a charakterizace diamantu podobných tenkých vrstev
Jan Čupera -
Studium termální stability diamantu podobných tenkých vrstev připravených plazmochemickou depozicí
Jaroslav Zůda