Zpět na vyhledávání

Mgr. Radek Žemlička, Ph.D.

Bakalářská práce

Příprava a charakterizace diamantu podobných tenkých vrstev

Deposition and characterisation of diamon-like carbon thin films
Anotace:
V předložené práci studujeme vyšší harmonické frekvence plazmových oscilací doutnavého výboje užitého při depozicích v plazmatu z plynné fáze a leptání v plazmatu. Hlavní motivací je získání nové diagnostické metody, kterou lze průběh těchto procesů sledovat.
Abstract:
In the present work we study higher harmonic frequencies of plasma oscillation of glow discharge used for plasma enhanced chemical vapor deposition and plasma etching. The main motivation is bringing a new real-time diagnostic method for these kinds of plasma processing
 

Klíčová slova

diamantu podobná vrstva diagnostika kapacitně vázaný výboj harmonické frekvence plazmatu PECVD diamond like carbon thin films diagnostics capacitively coupled discharge plasma harmonics
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 20. 5. 2010
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/h623j/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 29. 6. 2010
  • Vedoucí: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce