Optická charakteristika tenkých vrstev nitridu křemíku – Bc. Martin Málek
Bc. Martin Málek
Bachelor's thesis
Optická charakteristika tenkých vrstev nitridu křemíku
Optical characterization of silicon nitride thin films
Abstract:
V této bakalářské práci se věnujeme optické charakterizaci nestechiometrických tenkých vrstev nitridu křemíku. Nejprve uvádíme základní teorii chování světla na rozhraní jednoho i více prostředí. Následně zaměřujeme pozornost na způsob výroby a metody měření studovaných vzorků. Zavádíme strukturní i disperzní modely, kterými vzorky popisujeme. Na závěr vyhodnocujeme naměřená data, počítáme hodnoty …moreAbstract:
In this thesis we study optical properties of non-stoichiometric silicon nitride thin films. First we introduce basic theory of light propagation through single layered and multilayered systems. Next we focus on methods of deposition and measurement of studied samples. We introduce structural and dispersion models, by which are samples described. Lastly we evaluate experimental data, calculate values …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 22. 5. 2019
Identifier:
https://is.muni.cz/th/vs0g0/
Thesis defence
- Date of defence: 25. 6. 2019
- Supervisor: prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
- Reader: Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Physics / Physics
Theses on a related topic
-
Non-invasive contactless identification and characterization of microorganisms by Raman spectroscopy and optical micromanipulations
Silvie Bernatová -
Určování optických konstant a strukturních parametrů tenkých DLC vrstev s příměsí křemíku a kyslíku
Pavlína Kührová -
Určování optických konstant a tlouštěk tenkých vrstev nitridu křemíku
Diana Csontosová -
Elektronové vlastnosti kobaltitů studovaných pomocí elipsometrie
Miroslav Golian -
Mueller matrix ellipsometry of special samples
Přemysl Ciompa -
Time-domain terahertz ellipsometry and polarimetric applications of spintronic emitters
Pierre Koleják -
Optická elipsometrie
Tomáš HORÁK -
Modulační elipsometrie
Jindřich Oulehla