Mgr. Peter Klein, Ph.D.

Doctoral thesis

Study of PVD process driven by high power pulses

Study of PVD process driven by high power pulses
Anotácia:
Tato práce se zabývá procesy související s depozicí tenkých vrstev metodou magnetronového naprašovaní pulzy vysokého výkonu (HiPIMS). Práce se zaměřuje na popis dvou procesů; prvním jsou oscilace detekované během pulzů na časových průbězích ka\-to\-do\-vé\-ho napětí a výbojového proudu, druhým jsou ionizační zóny, nebo spoky, do kterých se výboj sám uspořádá po dobu pulzu. Oscilace pozorovány na průběhu …viac
Abstract:
This work is dedicated to the study of the processes accompanying the thin film deposition using the high-power impulsed magnetron sputtering (HiPIMS). Two types of processes are discussed within the thesis; the first are the oscillations detected on the temporal evolution of cathode voltage and discharge current during the pulse and the second are ionisation zones, or spokes into which plasma self …viac
 
 
Jazyk práce: English
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 8. 2017

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 22. 9. 2017
  • Vedúci: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
  • Oponent: prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc., Mgr. Andrea Dagmar Pajdarová, Ph.D.

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta