Study of PVD process driven by high power pulses – Mgr. Peter Klein, Ph.D.
Mgr. Peter Klein, Ph.D.
Doctoral thesis
Study of PVD process driven by high power pulses
Study of PVD process driven by high power pulses
Abstract:
Tato práce se zabývá procesy související s depozicí tenkých vrstev metodou magnetronového naprašovaní pulzy vysokého výkonu (HiPIMS). Práce se zaměřuje na popis dvou procesů; prvním jsou oscilace detekované během pulzů na časových průbězích ka\-to\-do\-vé\-ho napětí a výbojového proudu, druhým jsou ionizační zóny, nebo spoky, do kterých se výboj sám uspořádá po dobu pulzu. Oscilace pozorovány na průběhu …moreAbstract:
This work is dedicated to the study of the processes accompanying the thin film deposition using the high-power impulsed magnetron sputtering (HiPIMS). Two types of processes are discussed within the thesis; the first are the oscillations detected on the temporal evolution of cathode voltage and discharge current during the pulse and the second are ionisation zones, or spokes into which plasma self …more
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 14. 8. 2017
Identifier:
https://is.muni.cz/th/y3l4h/
Thesis defence
- Date of defence: 22. 9. 2017
- Supervisor: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
- Reader: prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc., Mgr. Andrea Dagmar Pajdarová, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceDoctoral programme / field:
Physics (4-years) / Plasma Physics
Theses on a related topic
-
Dekorativní tenké vrstvy na bázi chromu připravené metodou magnetronového naprašování
Ivana Venkrbcová -
Vysokoteplotní vrstvy Si-B-C-N a multifunkční vrstvy (Zr)-B-C-(N) připravené pulzním magnetronovým naprašováním
Petr STEIDL -
Tvrdé slitinové vrstvy se zvýšenou odolností proti vzniku trhlin
Zuzana ČIPEROVÁ -
Multikomponentní nanokompozitní vrstvy připravené pulzním magnetronovým naprašováním
Michal PROCHÁZKA -
Tenké vrstvy Sn-Cu-O a Sn-Cu-N vytvářené magnetronovým naprašováním
Martin HROMÁDKA -
Multikomponentní vrstvy s vysokou teplotní stabilitou připravené pulzním reaktivním magnetronovým naprašováním
Veronika ŠÍMOVÁ -
Vliv topografie terče na ionizační centra v HiPIMS výboj
Terézia Halamová -
Diagnostika ionizačních center v HiPIMS výboji
Peter Burda