Metodika přípravy příčných řezů z tenkých vrstev a zkoumání jejich mikrostruktury v transmisním elektronovém mikroskopu

Petra ŠOTOVÁ

Bakalářská práce

Anotace:

Tato práce je zaměřena na vybranou metodiku přípravy příčných řezů z tenkých vrstev pro transmisní elektronový mikroskop (TEM) a analýzu struktury tenkých AZO vrstev. Popis metodiky je doplněn poznatky a doporučeními, jak urychlit proces přípravy, avšak se zachováním požadované kvality. Na teoretický popis krystalických látek navazuje v experimentální části práce analýza difraktogramu a snímků vysokého rozlišení z TEM. Cílem této práce je zmapování dané struktury (hranice zrn, mřížkové parametry a vliv snížení obsahu kyslíku v tenké AZO vrstvě). Tato data budou sloužit pro další výzkum.

Abstract:

This bachelor thesis is focused on a selected method of cross-section thin films preparation and its analysis of AZO structure in transmission electron microscope (TEM). It includes advices on how to speed up the preparation process. The theoretical description of crystallographic substances is used in the experimental part of the thesis. The goal of this work is to describe the structure (grain boundaries, lattice parameters and effect of reduced oxygen in the thin AZO film). The data will be further exploited in future research.

Klíčová slova

TEM, transmisní elektronový mikroskop, tenké vrstvy, příprava příčných řezů, struktura AZO vrstev

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 23. 5. 2019

Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Ing. Rostislav Medlín, Ph.D.

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI

Fakulta strojní

Bakalářský studijní program / obor:
Strojní inženýrství / Materiálové inženýrství a strojírenská metalurgie