Metodika přípravy příčných řezů z tenkých vrstev a zkoumání jejich mikrostruktury v transmisním elektronovém mikroskopu

Petra ŠOTOVÁ

Bachelor's thesis

Abstract:

Tato práce je zaměřena na vybranou metodiku přípravy příčných řezů z tenkých vrstev pro transmisní elektronový mikroskop (TEM) a analýzu struktury tenkých AZO vrstev. Popis metodiky je doplněn poznatky a doporučeními, jak urychlit proces přípravy, avšak se zachováním požadované kvality. Na teoretický popis krystalických látek navazuje v experimentální části práce analýza difraktogramu a snímků vysokého rozlišení z TEM. Cílem této práce je zmapování dané struktury (hranice zrn, mřížkové parametry a vliv snížení obsahu kyslíku v tenké AZO vrstvě). Tato data budou sloužit pro další výzkum.

Abstract:

This bachelor thesis is focused on a selected method of cross-section thin films preparation and its analysis of AZO structure in transmission electron microscope (TEM). It includes advices on how to speed up the preparation process. The theoretical description of crystallographic substances is used in the experimental part of the thesis. The goal of this work is to describe the structure (grain boundaries, lattice parameters and effect of reduced oxygen in the thin AZO film). The data will be further exploited in future research.

Keywords

TEM, transmisní elektronový mikroskop, tenké vrstvy, příprava příčných řezů, struktura AZO vrstev

Language used: Czech

Date on which the thesis was submitted / produced: 23. 5. 2019

Accessible from:: 31. 12. 2999

Thesis defence

• Supervisor: Ing. Rostislav Medlín, Ph.D.

University of West Bohemia

Faculty of Mechanical Engineering

Bachelor programme / field:
Mechanical Engineering / - Materials Engineering and Engineering Metallurgy