Optická emisní spektroskopie ve vysokovýkonovém impulzním magnetronovém rozprašování multikomponentního terče – Bc. Veronika NĚMCOVÁ
Bc. Veronika NĚMCOVÁ
Diplomová práce
Optická emisní spektroskopie ve vysokovýkonovém impulzním magnetronovém rozprašování multikomponentního terče
Optical emission spectroscopy in high-power impulse magnetron sputering of multicomponent target
Anotace:
Tato diplomová práce se zabývá zjišťováním trendů v chování jednotlivých druhů částic, kterými byly atomy a ionty argonu, niobu a uhlíku, v různých oblastech plazmatu při rozprašování terče složeného z více prvků, v tomto případě NbC. Dále se také zabývá stanovením průměrných koncentrací těchto částic, jejich vývojem v závislosti na čase a určením excitačních teplot. Použitou experimentální metodou …víceAbstract:
This master thesis is concerned with the investigation of trends in the behaviour of different types of particles, which were argon, niobium and carbon atoms and ions, in different regions of the plasma during the sputtering of a target composed of multiple elements, in this case NbC. It also deals with the determination of the average concentrations of these particles, their evolution as a function …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 7. 2023
Zveřejnit od: 31. 12. 2999
Obhajoba závěrečné práce
- Vedoucí: Mgr. Andrea Dagmar Pajdarová, Ph.D.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
NĚMCOVÁ, Veronika. \textit{Optická emisní spektroskopie ve vysokovýkonovém impulzním magnetronovém rozprašování multikomponentního terče}. Online. Diplomová práce. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, Fakulta aplikovaných věd. 2023. Dostupné z: https://theses.cz/id/nyzcpv/.
Jak správně citovat práci
NĚMCOVÁ, Veronika. Optická emisní spektroskopie ve vysokovýkonovém impulzním magnetronovém rozprašování multikomponentního terče. Plzeň, 2023. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI
Fakulta aplikovaných vědMagisterský studijní program / obor:
Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství
Práce na příbuzné téma
-
Charakterizace optických tenkých vrstev pomocí optické emisní spektroskopie
Sabina MALECOVÁ -
Školní pokusy z optické spektroskopie
Jakub Jedlička -
Optická emisní spektroskopie bariérového výboje
Roman Jíra -
Optická emisní spektroskopie pro diagnostiku nízkoteplotního plazmatu
Filip ČIŽMÁRIK -
Využití optické emisní spektroskopie pro analýzu chemického složení materiálu poloosy
Ondřej Harabiš -
Diagnostika dohasínajícího dusíkového plazmatu metodou optické emisní spektroskopie
Kateřina Kabeláčová -
Studium chemických procesů v klouzavém obloukovém výboji pomocí optické emisní spektroskopie
Štefánia Maďarová -
Mapovaní povrchů pomocí spektroskopie laserem buzeného plazmatu
Jakub Totek