Optická emisní spektroskopie ve vysokovýkonovém impulzním magnetronovém rozprašování multikomponentního terče – Bc. Veronika NĚMCOVÁ
Bc. Veronika NĚMCOVÁ
Master's thesis
Optická emisní spektroskopie ve vysokovýkonovém impulzním magnetronovém rozprašování multikomponentního terče
Optical emission spectroscopy in high-power impulse magnetron sputering of multicomponent target
Abstract:
Tato diplomová práce se zabývá zjišťováním trendů v chování jednotlivých druhů částic, kterými byly atomy a ionty argonu, niobu a uhlíku, v různých oblastech plazmatu při rozprašování terče složeného z více prvků, v tomto případě NbC. Dále se také zabývá stanovením průměrných koncentrací těchto částic, jejich vývojem v závislosti na čase a určením excitačních teplot. Použitou experimentální metodou …moreAbstract:
This master thesis is concerned with the investigation of trends in the behaviour of different types of particles, which were argon, niobium and carbon atoms and ions, in different regions of the plasma during the sputtering of a target composed of multiple elements, in this case NbC. It also deals with the determination of the average concentrations of these particles, their evolution as a function …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 14. 7. 2023
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
- Supervisor: Mgr. Andrea Dagmar Pajdarová, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
NĚMCOVÁ, Veronika. \textit{Optická emisní spektroskopie ve vysokovýkonovém impulzním magnetronovém rozprašování multikomponentního terče}. Online. Master's thesis. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2023. Available from: https://theses.cz/id/nyzcpv/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
NĚMCOVÁ, Veronika. Optická emisní spektroskopie ve vysokovýkonovém impulzním magnetronovém rozprašování multikomponentního terče. Plzeň, 2023. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesMaster programme / field:
Applied Physics and Physical Engineering / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství
Theses on a related topic
-
Charakterizace optických tenkých vrstev pomocí optické emisní spektroskopie
Sabina MALECOVÁ -
Školní pokusy z optické spektroskopie
Jakub Jedlička -
Optická emisní spektroskopie bariérového výboje
Roman Jíra -
Optická emisní spektroskopie pro diagnostiku nízkoteplotního plazmatu
Filip ČIŽMÁRIK -
Využití optické emisní spektroskopie pro analýzu chemického složení materiálu poloosy
Ondřej Harabiš -
Diagnostika dohasínajícího dusíkového plazmatu metodou optické emisní spektroskopie
Kateřina Kabeláčová -
Studium chemických procesů v klouzavém obloukovém výboji pomocí optické emisní spektroskopie
Štefánia Maďarová -
Mapovaní povrchů pomocí spektroskopie laserem buzeného plazmatu
Jakub Totek