Vyšší harmonické frekvence v reaktivním a prašném plazmatu

Mgr. Jakub Fišák

Bakalářská práce

Higher harmonic frequencies in reactive and dusty plasmas

Anotace:

V této bakalářské práci se věnujeme studiu závislosti elektrických parametrů, tj. napětí, proudu a jejich vyšším harmonickým frekvencím v plazmatu na různých veličinách a snažíme se zjistit, zda přítomnost prachových částic nějak ovlivní jejich chování. Součástí práce je rovněž popis závislosti množství detekováného prachu pro různé podmínky (průtoky jednotlivých složek plynu do reaktoru, výkon generátoru). Jeho jednoznačný vliv na harmonické frekvence však zjištěn nebyl. Byly zjištěny možné projevy probíhající delaminace nadeponované vrstvy.

Abstract:

In this thesis we study dependence of higher harmonic frequencies generated in plasma on discharge parameters and we searched their reaction on creation of dust in plasma. A constituent of this thesis is description of detected dust quantity for different conditions (fluxes of gases into reactor, power of generator). There was not found any effect of dust on higher harmonics unambiguously. A reaction of higher harmonics on delamination of depozited layer was found.

Klíčová slova

vyšší harmonické frekvence, prach, stěnová vrstva, hexametyldisiloxan, delaminace, Higher harmonic frequencies, dust, sheat, hexamethyldisiloxane, delamination

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 21. 5. 2012

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 21. 6. 2012
• Vedoucí: Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika