Zpět na vyhledávání

Bc. Katarína Bernátová

Diplomová práce

Studium reaktivního HIPIMS procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev

Study of reactive HIPIMS process and its use for thin films deposition
Abstract:
The main goal of this work is to study the reactive high impusle magnetron sputtering (HiPIMS). The diamond-like carbon thin films (DLC) were deposited for different types of the discharge pulse. The sp3/sp2 ratio of carbon bonding state in film was analyzed by two methods, namely raman spectroscopy and electron energy loss spectroscopy (EELS). We studied HiPMS process mainly utilizing optical emission …více
Abstract:
Hlavným cieľom tejto práce je štúdium reaktívneho magnetrónového naprašovania pulzmi veľkého výkonu (HiPIMS). Deponovali sme sériu tenkých diamantu podobných uhlíkových vrstiev (DLC) pre rôzne tvary pulzu. Následne podiel sp3/sp2 uhlíkových väzieb vo vrstvách bol kvantifikovaný. K tomu sme použili dve analytické metódy - ramanovská spektroskopia a spektroskopia energetických strát elektrónov (EELS …více
 

Klíčová slova

HiPIMS uhlíkové vrstvy ramanovská spektroskopia EELS spektroskopia koncentrácia rozprášených častíc optickoemisná spektroskopia acetylén carbon films raman spectroscopy EELS spectroscopy concentration of sputtered species optical emission spectroscopy acetylene
 
Jazyk práce: slovenština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 11. 5. 2017
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/rkkmr/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 14. 6. 2017
  • Vedoucí: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce