Back to search

Bc. Katarína Bernátová

Master's thesis

Studium reaktivního HIPIMS procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev

Study of reactive HIPIMS process and its use for thin films deposition
Abstract:
The main goal of this work is to study the reactive high impusle magnetron sputtering (HiPIMS). The diamond-like carbon thin films (DLC) were deposited for different types of the discharge pulse. The sp3/sp2 ratio of carbon bonding state in film was analyzed by two methods, namely raman spectroscopy and electron energy loss spectroscopy (EELS). We studied HiPMS process mainly utilizing optical emission …more
Abstract:
Hlavným cieľom tejto práce je štúdium reaktívneho magnetrónového naprašovania pulzmi veľkého výkonu (HiPIMS). Deponovali sme sériu tenkých diamantu podobných uhlíkových vrstiev (DLC) pre rôzne tvary pulzu. Následne podiel sp3/sp2 uhlíkových väzieb vo vrstvách bol kvantifikovaný. K tomu sme použili dve analytické metódy - ramanovská spektroskopia a spektroskopia energetických strát elektrónov (EELS …more
 

Keywords

HiPIMS uhlíkové vrstvy ramanovská spektroskopia EELS spektroskopia koncentrácia rozprášených častíc optickoemisná spektroskopia acetylén carbon films raman spectroscopy EELS spectroscopy concentration of sputtered species optical emission spectroscopy acetylene
 
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 11. 5. 2017
Identifier: https://is.muni.cz/th/rkkmr/

Thesis defence

  • Date of defence: 14. 6. 2017
  • Supervisor: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution