Nanášení tenkých vrstev na bázi sloučenin boru plazmovými tryskami

Bc. Barbora Pijáková

Master's thesis

Deposition of the thin layers based on boron compounds using plasma jet

Abstract:

In this thesis we study the relationship between the conditions of deposition of the layers using plasma jet and properties of produced layers. Hardness, hydrophobicity, oleophobicity followed by biological activity or low friction coeficient were mainly required properties of layers. In theoretical part, there is mentioned a brief theory about plasma, plasma usage and plasma jet. Also there is a part dealing with chemical compounds used in experiment and usage of these compounds in addition to plasma treatment. Accordingly, there is a brief description of possible diagnostic methods of required properties of layers. Experimental part represents the methods of layer deposition, used equipment of apparatus and final experiments with their diagnostics.

Abstract:

V této diplomové práci se věnujeme zkoumání vztahu depozičních podmínek použitím plazmové trysky na vlastnostech produkovaných vrstev. Hlavními požadovanými vlastnostmi jsou co nejvyšší tvrdost, hydrofobicita, oleofobicita, popřípadě jiné vlastnosti jako biologická aktivita nebo nízký koeficient tření. V teoretické části je stručně popsána teorie plazmatu, jeho využití a zařízení plazmové trysky. Obsahuje také popis a vlastnsti použitých chemických sloučenin a jejich dosavadní případné využití společně s plazmatem. Stručně jsou zde rovněž popsány i metody měření některých požadovaných vlastností produktů. Experimentální část pojednává o metodice přípravy vrstev, o uspořádání experimentální aparatury a samotných experimentech, společně s jejich případnou diagnostikou.

Keywords

Plasma, Slit nozzle, Plasma discharge, Hydrophobicity, Oleophobicity, Hydrophobic, Hydrophilic, Oleophobic, Biological activity, Hysitron TI950NanoIndenter, Friction coefficient, SEE System, Contack angle, Trimethyl borate, Sodium tetraborate, Sodium perboritane, Hexamethyldisiloxane, HMDSO, Titanium butoxid, Tetrafluormethane, Octafluorocyclobutane, Nanoshield, Deposition of thin layersPlazma, Štrbinová tryska, Plazmový výboj, Hydrofóbnosť, Oleofóbnosť, Hydrofóbny, Hydrofilný, Oleofóbny, Biologická aktivita, Koeficient trenia, Kontaktný uhol, Trimethylester kyseliny bóritej, Bórax, Peroxobóritan sodný, Hexamethyldisiloxán, Titán butoxid, Tetrafluoromethán, Oktafluorocykobután, Nanášanie tenkých vrstievPlazma, Štěrbinová tryska, Hydrofobicita, Oleofobicita, Hydrofobní, Hydrofilní, Oleofobní, Koeficient tření, Kontaktní uhel, Trimethylester kyseliny borité, Perboritan sodný, Tetrafluormethan, Nanášení tenkých vrstev

Language used: Slovak

Date on which the thesis was submitted / produced: 27. 5. 2013

Thesis defence

• Date of defence: 10. 6. 2013
• Supervisor: Mgr. Miloš Klíma, Ph.D.

Masaryk University

Faculty of Science

Master programme / field:
Chemistry / Chemistry of Conservation - Restoration