Reaktivní naprašování vrstev s nízkým Youngovým modulem a charakterizace jejich vlastností – Bc. Martin VONÁSEK
Bc. Martin VONÁSEK
Master's thesis
Reaktivní naprašování vrstev s nízkým Youngovým modulem a charakterizace jejich vlastností
Reactive sputtering of the coatings with low Young's modulus and characterization of their properties
Abstract:
Tato práce je věnována problematice AC pulzního reaktivního magnetronového naprašování vrstev Zr-Si-O za využití duálního magnetronu. Vrstvy Zr-Si-O s různým poměrem prvků Zr/Si byly připraveny na křemíkové, skleněné a molybdenové substráty. Byl zkoumán vliv parciálního tlaku reaktivního plynu - kyslíku pO2 na depoziční rychlost, mechanické vlastnosti, transmitanci, strukturu a prvkové složení. Bylo …moreAbstract:
This thesis is dedicated to the reactive magnetron sputtering Zr-Si-O coatings using ac pulse dual magnetron. Zr-Si-O coatings with various elemental composition ratios were deposited on silicon, glass and molybdenum substrates. The partial pressure of reactive gas oxygen pO2 on deposition rate, mechanical properties, transmittance and structure of the coatings has been investigated. It has been found …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 29. 5. 2014
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
- Supervisor: Prof. Ing. Jindřich Musil, DrSc.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
VONÁSEK, Martin. \textit{Reaktivní naprašování vrstev s nízkým Youngovým modulem a charakterizace jejich vlastností}. Online. Master's thesis. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2014. Available from: https://theses.cz/id/ovqhqv/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
VONÁSEK, Martin. Reaktivní naprašování vrstev s nízkým Youngovým modulem a charakterizace jejich vlastností. Plzeň, 2014. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesMaster programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Applied Physics and Physical Engineering
Theses on a related topic
-
Magnetronové naprašování vrstev s vylepšenými mechanickými a tribologickými vlastnostmi
Daniel JAVDOŠŇÁK -
Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi
Sergei ZENKIN -
Mechanické vlastnosti tenkých vrstev připravených metodou reaktivního magnetronového naprašování
Lukáš Zábranský -
Vývoj a studium pokročilých multivrstev a nanokompozitů připravených s použitím magnetronového naprašování a PECVD
Richard Václavik -
Pulzní magnetronové naprašování multikomponentních vrstev a měření jejich elektrické vodivosti a mechanických vlastností
Michaela KOTRLOVÁ -
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev obsahujících měď a stanovení jejich fyzikálních a mechanických vlastností
Jakub BLAŽEK -
Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností
Zuzana ČIPEROVÁ -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV