Bc. Martin VONÁSEK

Master's thesis

Reaktivní naprašování vrstev s nízkým Youngovým modulem a charakterizace jejich vlastností

Reactive sputtering of the coatings with low Young's modulus and characterization of their properties
Anotácia:
Tato práce je věnována problematice AC pulzního reaktivního magnetronového naprašování vrstev Zr-Si-O za využití duálního magnetronu. Vrstvy Zr-Si-O s různým poměrem prvků Zr/Si byly připraveny na křemíkové, skleněné a molybdenové substráty. Byl zkoumán vliv parciálního tlaku reaktivního plynu - kyslíku pO2 na depoziční rychlost, mechanické vlastnosti, transmitanci, strukturu a prvkové složení. Bylo …viac
Abstract:
This thesis is dedicated to the reactive magnetron sputtering Zr-Si-O coatings using ac pulse dual magnetron. Zr-Si-O coatings with various elemental composition ratios were deposited on silicon, glass and molybdenum substrates. The partial pressure of reactive gas oxygen pO2 on deposition rate, mechanical properties, transmittance and structure of the coatings has been investigated. It has been found …viac
 
 
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 29. 5. 2014
Zverejniť od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedúci: Prof. Ing. Jindřich Musil, DrSc.

Citační záznam

Jak správně citovat práci

VONÁSEK, Martin. Reaktivní naprašování vrstev s nízkým Youngovým modulem a charakterizace jejich vlastností. Plzeň, 2014. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd

Plný text práce

Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných věd
Vázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/