Bc. Jakub Nekvapil

Bakalářská práce

Studium změny chování reaktivního magnetronového naprašování po přidání vodíku

Influence of hydrogen on behaviour of reactive magnetron sputtering
Anotace:
Tato bakalářská práce se věnuje studiu reaktivního magnetronového naprašování za připouštění směsí Ar+O2, Ar+H2 a Ar+O2+H2. V první části je popsán princip metody magnetronového naprašování a zejména fyzikální procesy ovlivňující proces reaktivního magnetronového naprašování. V praktické části je zkoumáno hysterezní chování depozičního procesu samostatně pro každou z prvních dvou zmíněných směsí. Bylo …více
Abstract:
This thesis studies reactive magnetron sputtering in Ar+O2, Ar+H2 and Ar+O2+H2 mixtures. The first part describes the basic principles of magnetron sputtering, especially the physical processes influencing the reactive magnetron sputtering process. The practical part analyzes the hysteresis of the deposition process for the first two mixtures separately. It was verified that both hydrogen and oxygen …více
 
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 21. 5. 2012

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 22. 6. 2012
  • Vedoucí: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta