Studium změny chování reaktivního magnetronového naprašování po přidání vodíku – Bc. Jakub Nekvapil
Bc. Jakub Nekvapil
Bachelor's thesis
Studium změny chování reaktivního magnetronového naprašování po přidání vodíku
Influence of hydrogen on behaviour of reactive magnetron sputtering
Abstract:
Tato bakalářská práce se věnuje studiu reaktivního magnetronového naprašování za připouštění směsí Ar+O2, Ar+H2 a Ar+O2+H2. V první části je popsán princip metody magnetronového naprašování a zejména fyzikální procesy ovlivňující proces reaktivního magnetronového naprašování. V praktické části je zkoumáno hysterezní chování depozičního procesu samostatně pro každou z prvních dvou zmíněných směsí. Bylo …moreAbstract:
This thesis studies reactive magnetron sputtering in Ar+O2, Ar+H2 and Ar+O2+H2 mixtures. The first part describes the basic principles of magnetron sputtering, especially the physical processes influencing the reactive magnetron sputtering process. The practical part analyzes the hysteresis of the deposition process for the first two mixtures separately. It was verified that both hydrogen and oxygen …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 21. 5. 2012
Identifier:
https://is.muni.cz/th/ktw8f/
Thesis defence
- Date of defence: 22. 6. 2012
- Supervisor: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Physics / Physics
Theses on a related topic
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev
Michal ŠULA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi
Sergei ZENKIN -
Globální modely plazmatu v reaktivním magnetronovém naprašování v argonu, dusíku a acetylenu
Kristína Tomanková -
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností
Roman SPLÍTEK