Cyklické silylselenidy jako prekurzory pro depozice atomárních\nl{} vrstev

Daniel Pokorný

Bakalářská práce

Cyclic silylselenides as precursors for atomic layer deposition

Anotace:

V rámci této bakalářské práce byla vypracována literární rešerše historie, využití a představení prekurzorů selenu pro technologii depozice atomárních vrstev (ALD). V experimentální části byly připraveny tři prekurzory na bázi cyklických silylselenidů, z nichž jeden nebyl v literatuře dosud popsán. Výchozí sloučeninou pro všechny cílové sloučeniny je selenid lithný, připravený in situ z elementárního selenu a triethylborohydridu lithného, který následně reagoval s příslušnými chloralkylsilany. Struktura, čistota, stálost a základní fyzikální vlastnosti připravených molekul byly potvrzeny 1H-, 13C-, 29Si- a 77Se-NMR spektroskopií, GC/MS analýzou a termická stabilita metodami DSC a TG analýz. V závěrečné části je porovnána schopnost tvorby selenových tenkých vrstev u připravených prekurzorů.

Abstract:

A literature search work focusing on history and applications of selenium precursors for Atomic Layer Deposition (ALD) technology has been introduced in this bachelor thesis. Three precursors based on cyclic silylselenides, one completely novel, were prepared within the experimental part. Starting materials for all target molecules involved lithium selenide, prepared in situ from elemental selenium and lithium triethyborohydride, which subsequently reacted with corresponding chloroalkylsilanes. Their structure, purity, stability, and fundamental physical properties have been confirmed by 1H-, 13C-, 29Si-, and 77Se-NMR spectroscopy, GC/MS analysis, and thermal stability by DSC and TGA methods. The capability of particular precursors to form selenium layers is discussed and compared at the end of the thesis.

Klíčová slova

Cyklický silylselenid, selen, syntéza, depozice atomárních vrstev (ALD)

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 16. 6. 2021

Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: prof. Ing. Filip Bureš, Ph.D.

Univerzita Pardubice

Fakulta chemicko-technologická

Bakalářský studijní program / obor:
Chemie a technická chemie / Chemie a technická chemie