Charakterizace reliéfních difrakčních struktur optickými a skenovacími metodami

Bc. Martin Karlovec

Diplomová práce

Characterization of relief diffractive structures by optical and scanning methods

Anotace:

Práce se zabývá studiem topologie reliéfních difrakčních mřížek a jejich difrakcí. Jsou kvalitativně porovnávány mřížky zhotovené metodami jako je scatterometrie, optická mikroskopie, elektronová mikroskopie, mikroskopie atomárních sil. Dále je posouzena vhodnost jednotlivých metod k určení základních parametrů difrakčních mřížek.

Abstract:

We study the topology of relief diffraction gratings and diffraction. They are qualitatively compared gratings made by methods such as scatterometrie, optical microscopy, electron microscopy, atomic force microscopy. Furthermore, the suitability of different methods to determine the basic parameters of the diffraction grating.

Klíčová slova

difrakční mřížky, hologramy, scatterometrie, optická mikroskopie, elektronová mikroskopie, mikroskopie atomárních sil

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 9. 5. 2014

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 4. 6. 2014
• Vedoucí: Mgr. Jan Mistrík, Ph.D.

Univerzita Pardubice

Fakulta chemicko-technologická

Magisterský studijní program / obor:
Polygrafie / Polygrafie