Zpět na vyhledávání

Mgr. Martin Haničinec

Bachelor's thesis

Povrchová úprava krystalického křemíku v bariérovém výboji

Surface modification of crystalline silicon in barrier discharge
Anotácia:
Tato práce se věnuje studiu povrchových modifikací krystalického křemíku (c-Si) v bariérovém výboji buzeném za atmosférického tlaku ve vzduchu. V experimentech byl využíván koplanární bariérový výboj (DCSBD) a byl studován vliv parametrů výboje a délky expozice na změnu vlastností povrchu křemíkových desek. Cílem práce bylo určení parametrů výboje pro efektivní povrchové opracování.
Abstract:
This thesis studies the surface modifications of crystalline silicon (c-Si) in barrier discharge generated in the atmospheric pressure in the air. Mainly, the diffuse coplanar surface barrier discharge (DCSBD) was used and experiments have been done, to study the influence of the discharge parameters and the exposure time on the silicon surface properties. Finding out the parameters for effective surface …viac
 

Kľúčové slová

povrchová úprava povrchová energie plazma bariérový výboj krystalický křemík surface modification surface energy plasma barrier discharge crystalline silicon
 
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 19. 5. 2010
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/ut5jw/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 29. 6. 2010
  • Vedúci: doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce