Depozice vrstev Y2O3 a měření jejich kontaktního úhlu a mechanických vlastností – Šárka BATKOVÁ
Šárka BATKOVÁ
Bachelor's thesis
Depozice vrstev Y2O3 a měření jejich kontaktního úhlu a mechanických vlastností
Deposition of Y2O3 films and measurement of their contact angle and mechanical properties
Abstract:
Tato práce se zabývá vrstvami Y2O3 vytvořenými magnetronovým naprašováním a následným měřením jejich vlastností. Zkoumané vrstvy byly vytvořeny při parciálním tlaku kyslíku 0,6 Pa a 0,4 Pa. Byly měřeny jak mechanické vlastnosti a vlastnosti povrchu (tvrdost, tloušťka a drsnost), tak kontaktní úhel a povrchová energie. Ukázalo se, že první vrstva připravená při parciálním tlaku 0,4 Pa vykazuje větší …moreAbstract:
This thesis deals with Y2O3 films deposited using magnetron sputtering and measurement of their properties. The examined films were formed under a partial pressure of oxygen of 0.6 Pa and 0.4 Pa. Mechanical and surface properties (hardness, thickness and roughness) were measured, as well as contact angle and surface energy. It was shown that the first film deposited at a partial pressure of 0.4 Pa …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 29. 5. 2014
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
- Supervisor: Prof. Ing. Jindřich Musil, DrSc.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
BATKOVÁ, Šárka. \textit{Depozice vrstev Y2O3 a měření jejich kontaktního úhlu a mechanických vlastností}. Online. Bachelor's thesis. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2014. Available from: https://theses.cz/id/pn9zpd/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
BATKOVÁ, Šárka. Depozice vrstev Y2O3 a měření jejich kontaktního úhlu a mechanických vlastností. Plzeň, 2014. bakalářská práce (Bc.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesBachelor programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Applied and Engineering Physics
Theses on a related topic
-
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Depozice dekorativních vrstev metodou Magnetronového naprašování a hodnocení vybraných vlastností v závislosti na tloušťkách připravených vrstev.
Jan Kocman -
Nástroje systematické kreativity ke zlepšování výrobních procesů
Vladimír Sojka