Modernizace aparatury pro spektroskopické měření tloušťky vrstev v čistých prostorách – Bc. Jakub Dóczy
Bc. Jakub Dóczy
Bachelor's thesis
Modernizace aparatury pro spektroskopické měření tloušťky vrstev v čistých prostorách
Device for layer thickness measurement by optical spectroscopy in clean room
Abstract:
Thesis is aimed at automatization of spectroscopic measurement of thin film thickness and motorization of table for movement of sample. Modernization of equipment was designed and completed for automation of measurement along with a control program. Some of the methods for deposition of thin films and principles of contol and function of stepper motors. Subsequently, modernization of equipment and …moreAbstract:
Bakalárska práca sa zameriava na automatizáciu spektroskopického merania hrúbky tenkých priehľadných vrstiev a motorizáciu stolčeka pre posuv vzorky. Bola navrhnutá a zrealizovaná modernizácia súčasnej aparatúry spolu s programom na jej ovládanie. V teoretickej časťi sú popísané niektoré metódy výroby tenkých priehľadných vrstiev a princípy ovládania a fungovania krokových motorov. Následne sú popísané …more
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 19. 5. 2016
Identifier:
https://is.muni.cz/th/asrwy/
Thesis defence
- Date of defence: 20. 6. 2016
- Supervisor: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
DÓCZY, Jakub. \textit{Modernizace aparatury pro spektroskopické měření tloušťky vrstev v čistých prostorách}. Online. Bachelor's thesis. Brno: Masaryk University, Faculty of Science. 2016. Available from: https://theses.cz/id/px2tje/.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Physics / Physics