Modernizace aparatury pro spektroskopické měření tloušťky vrstev v čistých prostorách

Bc. Jakub Dóczy

Bachelor's thesis

Device for layer thickness measurement by optical spectroscopy in clean room

Abstract:

Thesis is aimed at automatization of spectroscopic measurement of thin film thickness and motorization of table for movement of sample. Modernization of equipment was designed and completed for automation of measurement along with a control program. Some of the methods for deposition of thin films and principles of contol and function of stepper motors. Subsequently, modernization of equipment and the control program are described. Afterwards, results using modernized equipments are presented.

Abstract:

Bakalárska práca sa zameriava na automatizáciu spektroskopického merania hrúbky tenkých priehľadných vrstiev a motorizáciu stolčeka pre posuv vzorky. Bola navrhnutá a zrealizovaná modernizácia súčasnej aparatúry spolu s programom na jej ovládanie. V teoretickej časťi sú popísané niektoré metódy výroby tenkých priehľadných vrstiev a princípy ovládania a fungovania krokových motorov. Následne sú popísané modernizácia aparaúry a vytvorený program. Ďalej sú prezentované výsledky uskutočnené pomocou modernizovanej aparatúry.

Kľúčové slová

Automatizácia merania, Interferencia na tenkej vrstve, Krokový motor, Modernizácia aparatúry, Arduino

Jazyk práce: Slovak

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 19. 5. 2016

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 20. 6. 2016
• Vedúci: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Masaryk University

Faculty of Science

Bachelor programme / odbor:
Physics / Physics