Back to search

Bc. Csaba Morvay

Bachelor's thesis

Hloubkové profilování chemického složení tenkých vrstev kombinací rtg reflexe a rtg fluorescence

Chemical composition depth profiling of thin films using x-ray reflectometry and fluorescence
Abstract:
V této práci provedeme hloubkové profilování chemického složení několika tenkých vrstev současným měřením rentgenové reflexe a rentgenové fluorescence. Práce zahrnuje stručný popis různých metod používaných pro analýzu materiálů a podrobnější popis totální reflexní rentgenové fluorescence (TXRF). Práca obsahuje také popis experimentálního zařízení a postupu. Porovnáním experimentálních výsledků s teoretickými …more
Abstract:
In this thesis, we will conduct depth profiling of the chemical composition of several thin layers by simultaneous measurement of X-ray reflectivity and X-ray fluorescence. The thesis includes a brief description of various methods used for material analysis and a more detailed description of total-reflection X-ray fluorescence (TXRF). The thesis also contains a description of the experimental setup …more
 

Keywords

tenká vrstva hloubkové profilování rentgenová fluorescenční spektroskopie TXRF rentgenová reflektometrie rentgenová spektroskopie při malém úhlu dopadu thin film depth profiling X-ray fluorescence X-ray reflectometry grazing incidence X-ray spectroscopy
 
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 14. 5. 2024
Identifier: https://is.muni.cz/th/qks19/

Thesis defence

  • Date of defence: 24. 6. 2024
  • Supervisor: doc. Mgr. Ondřej Caha, Ph.D.
  • Reader: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution