Hloubkové profilování chemického složení tenkých vrstev kombinací rtg reflexe a rtg fluorescence

Bc. Csaba Morvay

Bachelor's thesis

Chemical composition depth profiling of thin films using x-ray reflectometry and fluorescence

Anotácia:

V této práci provedeme hloubkové profilování chemického složení několika tenkých vrstev současným měřením rentgenové reflexe a rentgenové fluorescence. Práce zahrnuje stručný popis různých metod používaných pro analýzu materiálů a podrobnější popis totální reflexní rentgenové fluorescence (TXRF). Práca obsahuje také popis experimentálního zařízení a postupu. Porovnáním experimentálních výsledků s teoretickými závislostmi určujeme tloušťku povrchové tenké vrstvy vzorků.

Abstract:

In this thesis, we will conduct depth profiling of the chemical composition of several thin layers by simultaneous measurement of X-ray reflectivity and X-ray fluorescence. The thesis includes a brief description of various methods used for material analysis and a more detailed description of total-reflection X-ray fluorescence (TXRF). The thesis also contains a description of the experimental setup and procedure. By comparing the experimental results with theoretical dependencies, we determine the thickness of the thin surface layer of each sample.

Keywords

tenká vrstva, hloubkové profilování, rentgenová fluorescenční spektroskopie, TXRF rentgenová reflektometrie, rentgenová spektroskopie při malém úhlu dopadu, thin film, depth profiling, X-ray fluorescence, X-ray reflectometry, grazing incidence X-ray spectroscopy

Jazyk práce: English

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 5. 2024

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 24. 6. 2024
• Vedúci: doc. Mgr. Ondřej Caha, Ph.D.
• Oponent: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Masaryk University

Faculty of Science

Bachelor programme / odbor:
Physics / Physics