Organické sloučeniny selenu jako prekurzory pro depozice atomárních vrstev

Bc. Jaroslav Charvot

Master's thesis

Organic selenium compounds as precursors for atomic layer deposition

Abstract:

Tato diplomová práce se zabývá technologií depozice atomárních vrstev (ALD), jejími principy, a především ALD prekurzory. Literární rešerše nejprve popisuje obecné vlastnosti ALD a dále se konkrétněji zaměřuje na dnes nejčastěji používané typy prekurzorů. V poslední části literární rešerše jsou pak popsány dostupné prekurzory selenu, jejich syntéza a případné využití při nanášení nanovrstev. Cílem experimentální části bylo připravit celkem osm molekul z toho čtyři alkylsilylselenidy a čtyři alkylstanylselenidy jako potenciální ALD prekurzory. Struktura a čistota všech připravených látek byla potvrzena pomocí NMR spektroskopie, GC/MS analýz a bodů varů. Pro zjištění tepelné stability byla provedena také DSC analýza. Na závěr jsou získané údaje kriticky zhodnoceny a diskutovány a byly vyvozeny základní vztahy typu struktura-vlastnosti.

Abstract:

Atomic layers deposition (ALD) technology, its principles and especially ALD precursors are covered in this diploma work. Literature search focuses on general ALD principles and subsequently on the most commonly used types of precursors. The last part describes available selenium precursors, their synthesis, and applications. The experimental section aims towards preparation of four alkylsilylselenides and four alkylstanylselenides, as potential ALD precursors. The structure and purity of all prepared substances have been confirmed by NMR spectroscopy, GC/MS analysis, and boiling points. DSC analysis was also employed to determine thermal stability. Finally, all acquired data were compared, discussed, and fundamental structure-property relationships were elucidated.

Keywords

ALD, selen, prekurzor, organokov, těkavé sloučeniny

Language used: Czech

Date on which the thesis was submitted / produced: 10. 5. 2018

Accessible from:: 31. 12. 2999

Thesis defence

• Supervisor: prof. Ing. Filip Bureš, Ph.D.

University of Pardubice

Faculty of Chemical Technology

Master programme / field:
Chemistry / Organic Chemistry