Organické sloučeniny selenu jako prekurzory pro depozice atomárních vrstev – Bc. Jaroslav Charvot
Bc. Jaroslav Charvot
Master's thesis
Organické sloučeniny selenu jako prekurzory pro depozice atomárních vrstev
Organic selenium compounds as precursors for atomic layer deposition
Anotácia:
Tato diplomová práce se zabývá technologií depozice atomárních vrstev (ALD), jejími principy, a především ALD prekurzory. Literární rešerše nejprve popisuje obecné vlastnosti ALD a dále se konkrétněji zaměřuje na dnes nejčastěji používané typy prekurzorů. V poslední části literární rešerše jsou pak popsány dostupné prekurzory selenu, jejich syntéza a případné využití při nanášení nanovrstev. Cílem …viacAbstract:
Atomic layers deposition (ALD) technology, its principles and especially ALD precursors are covered in this diploma work. Literature search focuses on general ALD principles and subsequently on the most commonly used types of precursors. The last part describes available selenium precursors, their synthesis, and applications. The experimental section aims towards preparation of four alkylsilylselenides …viac
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 10. 5. 2018
Zverejniť od: 31. 12. 2999
Obhajoba závěrečné práce
- Vedúci: prof. Ing. Filip Bureš, Ph.D.
Citační záznam
Jak správně citovat práci
Charvot, Jaroslav. Organické sloučeniny selenu jako prekurzory pro depozice atomárních vrstev. Pardubice, 2018. diplomová práce (Ing.). Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická
Plný text práce
Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Univerzita Pardubice, Fakulta chemicko-technologickáUniversity of Pardubice
Faculty of Chemical TechnologyMaster programme / odbor:
Chemistry / Organic Chemistry
Práce na příbuzné téma
- Žádné práce na příbuzné téma.